中微在全球晶圆制造设备供应商(THE BEST Suppliers of Fab Equipment)中排名第三,在客户合作方面获得了客户的高度评价。中微在十大芯片制造设备专业型供应商(10 BEST Focused Suppliers of Chip Making Equipment)和专用芯片制造设备供应商(THE BEST Suppliers of Fab Equipment to Specialty Chip Makers)中均位列第二。
中微半导体设备有限公司(简称“中微”)今日发布 Primo iDEA(TM) (“双反应台介质刻蚀除胶一体机”)-- 这是业界首次将双反应台介质等离子体刻蚀和光刻胶除胶反应腔整合在同一个平台上。Primo iDEA(TM) 主要是针对2X纳米及更先进的刻蚀工艺,运用中微已被业界认可的 D-RIE 刻蚀技术和 Primo 平台,避免了因等离子体非间接接触芯片引发的器件损伤(PID),提高了工艺的灵活性,减少了生产所带来的成本,提高了生产效率并使占用生产空间更优化。
在下周即将举行的 SEMICON China 展会期间,中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称“中微”)将正式对外发布多反应器金属有机物气相沉积设备(MOCVD),并首次进入半导体照明市场。Prismo D-Blue(TM) MOCVD 设备能实现复杂的氮化镓、铟镓氮、铝镓氮超薄层结构的大批量生产,这些超薄层结构对于高亮度 LED 是必需的。